[비욘드포스트 강기성 기자] SK하이닉스가 일본산 액체 불화수소 대체를 시작했다. 렘테크놀러지라는 국내 액체 불화수소 제조업체 소재가 적용된다.

2일 업계에 따르면 SK하이닉스는 그동안 대체불화수소에 대한 평가를 마치고 지난 1일부터 양산라인에 투입한 것으로 나타났다.

SK하이닉스는 그동안 일본 스텔라와 모리타, 국내 솔브레인 등이 만든 액체 불화수소를 사용해왔다. 일본 정부의 수출 규제 시행으로 수급 우려가 현실화되자 램테크놀러지 제품을 본격 투입하기 시작한 것으로 알려졌다.

SK하이닉스가 지난 7월 4일 수출 규제 후 반도체 양산에 대체품을 투입한 건 처음이다. SK하이닉스는 그동안 일본 스텔라와 모리타, 국내 솔브레인 등이 만든 액체 불화수소를 사용해왔다.

SK하이닉스는 가스 형태의 기체 불화수소 수입에 대한 일본 정부 승인도 받은 것으로 확인됐다. 지난달 30일 일본 쇼와덴코 기체 불화수소에 대한 허가가 났다.

일본의 기체불화 수소는 앞서 지난 8월 말 처음 수출 허가가 난 바 있으며 당시 수입 기업은 삼성전자로 알려졌다. 일본이 지난 8월말 첫 수출 규제이후 3개월 만에 두 차례 수출허가가 난 셈이다.

SK하이닉스는 아직 한건도 국내에 들어오지 못한 액체 불화수소(불산액)의 경우 "지난 1일 일부 생산라인에 국산 액체 불화수소를 투입해 사용 중"이라고 밝혔다.

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