SiC 반도체는 SiC(실리콘 카바이드)는 실리콘(Si)과 탄소(C)로 구성된 화합물 반도체로 절연 파괴 강도가 Si의 10배, 밴드갭이 Si의 3배로 매우 우수하므로 전력용 반도체로 활용된다.
전력용 반도체는 전기차, 수소차, 5G 통신망 등의 전력 변환을 제어하는 역할을 한다. 전기차를 중심으로 다양한 분야에서 활용되는데, 최근 전기차 성장세에 힘입어 그 시장 규모가 급팽창하고 있다.
욜 디벨롭먼트(Yole Development)는 2022년 6월 보고서에서 SiC 전력반도체 시장이 올해 1조 1,000억원에서 2030년 12조 2,800억원까지 연간 20% 수준의 성장할 것으로 내다봤다.
일본 제조사 M社는 매엽식 세정 솔루션 전문 개발 업체로 업력이 15년에 달하며, 중국과 일본의 반도체, LCD, 태양전지 소자 업체에 다수의 세정 장비를 공급한 이력을 갖고 있다.
특히 이 제조사가 보유한 4인치, 6인치 매엽식 SiC 세정 장비는 특화 기술로 관련 업계에서 호평을 받고 있다. 파티클 제어성능(80nm 이상 5개 이하)이 수준으로 매우 우수하며, 독특한 이송 메커니즘으로 설치면적을 획기적으로 축소하였고, 경쟁사 대비 높은 가격 경쟁력을 갖추고 있다.
피에스티는 2021년 10월 중앙대학교 창업보육센터에 입주하여, 기술컨설팅, 특허출원 지원, 중앙가족기업 등 센터에서 운영하는 프로그램에 적극 참여하고, 고유한 반도체 장비 및 부품 설계 기술을 바탕으로 12인치 매엽식 세정 챔버, 고성능 Auto Damper를 국내외 시장에 공급 중이다.
SiC 매엽식 세정장비의 기술적 특징을 살펴 보면, 불산 약액(1% dHF)을 기준으로 하루에 20L를 사용하는 등 약액 사용량이 매우 적고, 웨이퍼의 양면 세정이 가능한 챔버 기술을 보유 중이다. 또한 고객사의 요청에 따라 베르누이 척, 이류체 노즐, 브러쉬 세정 옵션을 제공할 수 있다.
피에스티 황후철 대표는 반도체 장비업계에서 20년 이상 경력이 있는 반도체 장비 전문가로 ”고성장 중인 SiC 반도체 시장에 발맞추어 4인치/6인치용 SiC 웨이퍼 세정장비를 국내 출시하고, 8인치 SiC 웨이퍼 시장이 열리는 만큼 고객사와 긴밀히 협력하여 ’8인치 매엽식 SiC 세정장비‘ 개발에 매진하겠다”라는 포부를 밝혔다.
현재 4인치, 6인치 SiC 웨이퍼용 매엽식 세정장비를 2023년부터 국내 공급하기 위한 제반 준비 작업을 진행 중이다.
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