삼성전자 관계자는 3일 “일부 공정에 일본산 이외의 불화수소를 투입했다”며 “민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 확대해나갈 계획”이라고 밝혔다.
새로 투입된 불화수소에는 국내 업계가 생산한 제품도 있는 것으로 알려졌다.
반도체 제조 공정에서 회로를 새길 때 필수 소재인 불화수소는 애초 일본제품을 대체하기까지 3~6월이 소요될 것으로 예상했으나, 약 두달만에 대체품을 생산해 낸 것이다.
삼성전자와 함께 국산 불화수소를 공정에 투입한 곳은 LG디스플레이다.
이 밖에 SK하이닉스는 아직 대체품을 양산에 투입하지는 않고 있으며, 삼성디스플레이도 조만간 테스트를 완료할 것이라는 전망이다.
강기성 비욘드포스트 기자 news@beyondpost.co.kr
